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硅在沼气中以硅氧烷的形式存在，在燃烧的过程中发生如下化学反应：（（CH3）2SIO）3+12O2→3SIO2+6CO2+9H2O，从而转化为微晶二氧化硅（俗称石英）。这种微小的二氧化硅颗粒沉积在设备表面，可以在几小时内形成一层石英砂覆盖层，对气缸、火花塞、阀门和气缸及涡轮增压机等造成严重破坏，从而缩短发电机组的寿命。同时，该覆盖层具有绝缘性且阻碍热传导，会严重干扰各类传感线的信号。欧洲国家较早开展了有关硅氧烷的研究，并已形成完备的技术与应用体系。其沼气动力设备行业均已制定了相关的行业或企业标准，这些标准对于周期中的硅含量远超硫化氢的更为严苛的浓度要求。
